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进口光刻胶
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产品名称: 进口光刻胶
产品型号:
进口光刻胶
产品展商:
上海凯美特功能陶瓷技术有限公司
产品文档:
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简单介绍
进口光刻胶是针对会腐蚀的称底优化的剥离液,可以在常温下使用,以减少高温挥发损失,可去除plasma 蚀刻后的有机残留,减少金属离子污染,去胶效率高-->2000 wafers/gallon,光刻胶对铝铜衬底不会腐蚀,适用于剥离在后烘, 离子注入和干法蚀刻之后的残留,含有抗腐蚀剂以减轻对于称底的腐蚀性,可适用于常温、短时间剥离工艺。
进口光刻胶的详细介绍
进口光刻胶产品取用时的注意事项:
小心取用, 远离热源, 火星, 火源。
避免直接接触皮肤及眼睛, 避免吸入蒸汽, 建议穿戴合适的防护用品。
请储存在原密封的存储容器中, 并存放在干燥的暗室中。
进口光刻胶急救措施:
如果接触皮肤: 用肥皂及清水清洗接触部位。
如果接触眼睛: 用清水冲洗至少15 分钟, 并送医。
如果被吸入: 移至空气新鲜处。
进口光刻胶特征:
1) 通过提高光刻胶的热稳定性, 从而改善了干法刻蚀的工艺窗口
2) 高感光度带来了高产出率
3) 很宽的膜厚范围
| 光刻胶目录 |
| G线/I线/G线I线通用光刻胶系列 |
| AZ 1500系列 |
高感光度标准G线正型光刻胶 |
| AZ 6100系列 |
高感光度高耐热性G线正型光刻胶 |
| AZ 3100系列 |
高感光度高附着性G线I线通用正型光刻胶 |
| AZ GXR600系列 |
高感光度高附着性G线I线通用正型光刻胶 |
| AZ 5200E系列 |
应用于Iift -off 工艺图形反转正/负可转换I线光刻胶 |
| AZ MIR700系列 |
高感光度中解像度I线正型光刻胶 |
| AZ MIR900系列 |
厚膜高感光度高解像度I线正型光刻胶 |
| DUV光刻胶系列 |
| AZ DX3200P系列 |
应用于通孔图形的KrF 正型光刻胶 |
| AZ DX5200P系列 |
应用于沟槽及通孔图形的超高分辨率KrF 正型光刻胶 |
| 厚膜光刻胶系列 |
| AZ P4000系列 |
超厚膜高感光度标准G线正型光刻胶 |
| AZ PLP系列 |
应用于高精度电镀工艺的超厚膜正型光刻胶 |
| 防反射涂层/RELACS系列 |
| AZ AQUATAR 系列 |
应用于超高分辨率图形加工的顶部防反射涂层 |
| AQUATAR-Ⅷ系列 |
Non PFOS 和Non PFOA 的顶部防反射涂层 |
| AZ BARC材料 |
应用于超高分辨率图形加工的底部防反射涂层 |
| AZ Relacs涂布材料 |
应用于超高分辨率图形加工的光刻胶收缩材料 |
| AZ 8100系列 |
应用于TAB 制造和柔性衬底工艺的正型光刻胶 |
| 特殊用途光刻胶系列 |
| AZ P1350系列 |
应用于光罩制造及光媒介原盘制造的旋涂正型光刻胶 |
| AZ TFP300系列 |
应用于液晶面板制造的旋涂式正型I线光刻胶 |
| AZ TFP600系列 |
应用于液晶面板制造的超高感光度, 旋涂式正型光刻胶 |
| AZ SFP系列 |
应用于第五代液晶面板制造的旋涂式正型光刻胶 |
| AZ SR系列 |
应用于第五代以上液晶面板制造的Spin-less 涂布正型光刻胶 |
| AZ RFP系列 |
应用于液晶面板制造的辊式涂布正型光刻胶 |
| 液晶显示器/平板显示器用光刻胶系列 |
| AZ CTP系列 |
应用于有机电致发光显示器阴极隔离的负型光刻胶 |